纳米压印光刻

EVG 610（NIL）纳米压印系统
  • 产品品牌: 奥地利 EVG
  • 产品产地: 奥地利
  • 应用领域:
  • 产品简介: EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻机的紫外纳米压印设备，可针对压印、光刻、对准功能进行快速转换

产品简介：

EVG 610（NIL）是一款基于EVG610光刻机的紫外纳米压印设备，可针对压印、光刻、对准功能进行快速转换。

主要特点及参数：

·最大支持6英寸（150mm）晶圆

·最高分辨率可达40nm（取决于模版和工艺条件）

·支持汞灯或最新的UV-LED光源

·可选配功能：

键合对准

红外对准

纳米压印光刻（NIL）

微接触印刷